根据臭氧发生器的结构，有间隙放电型(DBD)和开放式。间隙式结构的特点是臭氧在内外电极的间隙中产生臭氧，臭氧可以集中收集输出，浓度高，如用于水处理。开放式发生器的电极暴露在空气中，产生的臭氧直接扩散到空气中。由于臭氧浓度低，通常只用于小空间的空气消du或一些小物品的表面消du。可以使用间隙发生器来代替开放式发生器。然而，间隙放电臭氧发生器的成本远高于开放式臭氧发生器。

　　根据冷却方式，有水冷型和风冷型。臭氧发生器工作时会产生大量热能，所以需要冷却，否则会因高温而同时产生和分解臭氧。水冷发电机冷却成效好，运行稳定，无臭氧衰减，可长时间连续工作，但结构复杂，成本略高。空成效不理想，臭氧衰减显著。性能稳定的高性能臭氧发生器一般都是水冷的。一般风冷只用于臭氧产量小的中低档臭氧发生器。在选择发电机时，应尽可能使用水冷发电机。按介质材料分，常见的有石英管(玻璃的一种)、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管等几种。目前市场上有各种介电材料制成的臭氧发生器出售，其性能各不相同。玻璃介质是zui早用于人工臭氧生产的材料之一，但其机械强度较差。类似于陶瓷玻璃，但陶瓷不适合加工，特别是在大型臭氧发生器中的使用受到限制。搪瓷是一种集电介质和电极于一体的新型电介质材料，具有高机械强度和高精度。广泛应用于大中型臭氧发生器，但制造成本高。