高浓度臭氧水机中存在不稳定元素，它们会自行分化。臭氧水灭菌就是使用这个分化过程（氧化过程）对物体外表的微生物进行氧化，从而达到灭菌目的。

　　常见的具有强氧化性的物质有：过氧乙酸、臭氧水和氯水，臭氧的瞬时灭菌性质优于氯。现在，饮料瓶盖灭菌的灭菌水根本选用过氧乙酸和臭氧水，其中绝大多数为过臭氧水。臭氧水灭菌无残留,水中臭氧浓度越大，需要的灭菌时刻也相应缩短。对于水中10-30mg/L的过臭氧水，通过30秒～60秒时刻灭菌，能够使瓶盖达到商业无菌的要求。因为臭氧水的灭菌时刻短、灭菌效果好，被广泛应用于果蔬汁饮料的瓶和盖灭菌。使用高浓度臭氧水机对饮料瓶盖进行灭菌的方式主要有喷冲式和浸泡式。

　　1．喷冲式是选用多组喷嘴，对瓶盖的多个方向喷发高浓度臭氧水机机进行瓶盖外表灭菌，瓶盖接受喷发的时刻应确保微生物能被彻底杀灭。具体办法为：通过理盖后的瓶盖方向共同地进入瓶盖轨道，在轨道的上下方设有多组喷头，每组喷头能够从不同角度对瓶盖喷发高浓度臭氧水机机，喷发的高浓度臭氧水机机既对瓶盖进行灭菌也推动瓶盖沿着轨道前行,使用臭氧水作为灭菌水时，因为臭氧水分化后的产物是水和氧气，不存在任何有害的残留物质，理论上无需对瓶盖再作处理，但实际出产过程中，因为瓶盖灭菌机出口与旋盖机距离很近，无法使残留臭氧彻底分化，因此，瓶盖通过臭氧水灭菌后还需要通过无菌水冲洗和无菌空气吹干处理。

　　2．浸泡式是把饮料瓶盖彻底浸泡在灭菌水中，使瓶盖的所有内外外表都接受高浓度臭氧水机机灭菌，浸泡时刻应满意瓶盖彻底灭菌的时刻要求。一种办法是：方向共同的瓶盖固定在瓶盖架上，瓶盖架连接在链条上，链条的运动带动瓶盖架进入装有高浓度臭氧水机机的灭菌池内并使瓶盖彻底浸泡在灭菌水中，浸泡的时刻应满意彻底灭菌的时刻要求。与喷冲灭菌方式相同，高浓度臭氧水机机浸泡后的瓶盖相同需要无菌水的喷洗和无菌空气的喷冲，使瓶盖既干燥又无菌。因此这种灭菌工艺一般应用于果汁饮料的无菌冷灌装。