在大多数臭氧水处理应用中，如果要达到或超过某一残留目标消毒或氧化，就必须监测水或废气中残留的臭氧浓度，并增加或减少臭氧发生器的输出。

　　在一些臭氧水处理应用中，这种方法需要将处理水中的臭氧残留物保持在一定限度以下。虽然在水处理的典型条件下，臭氧在水中的半衰期较短，但可以持续1-2小时。如果需要考虑下游腐蚀或工艺污染，应采取措施减少或消除臭氧残留。

　　分解水中臭氧的基本方法有三种:紫外线辐射、化学物质和活性炭。

　　1.紫外线

　　紫外线系统对于破坏工艺用水中的臭氧很有效。因为在大多数高纯度水处理过程中不需要化学物质或热量，所以紫外线是在简单的物理循环过程中分解臭氧首要选择的方法。这是一种不需要添加化学物质或其他材料的优选方法，例如在食品、饮料、制药或半导体工业中。

　　2.化学物质

　　一些化学物质也可以加入水中以去除残留的臭氧。这些化学物质包括:过氧化氢、亚硫酸氢钠和硫代硫酸钙。这些化学添加剂可以在超纯水系统之外使用。如饮用水处理，与亚硫酸盐或硫代硫酸盐的反应在几秒钟内发生。亚硫酸盐的投加量约为2.2 g亚硫酸钠/g臭氧。硫代硫酸钠的比例为2.1 g硫代硫酸钠/g臭氧。与任一化学品一样，有必要提前阅读材料数据安全表，以防止其他化学反应。但是亚硫酸盐会产生二氧化硫烟雾，需要注意。

　　3.活性炭

　　对于少量的臭氧，活性炭是去除水中残留物的有效方法，碳可以催化残留臭氧的分解。