臭氧为混合气体其浓度一般按质量比和体积比来表明。质量比是指单位体积内混合气体中含有多少质量的臭氧，常用单位mg/L或g/m3等表明。体积比是指单位体积内臭氧所占的体积含量或百分比含量，使用百分比表明如2%、5%、12%等。卫生职业常用ppm表明臭氧浓度，即每立方臭氧混合气体中臭氧占该体积的百万分之一为1ppm。臭氧浓度是衡量臭氧发生器技术含量和功能的重要指标。平等的工况条件下臭氧输出浓度越高其品质度就越高。影响臭氧浓度的主要因素有以下几点：

　　1、移动式臭氧发生器的结构和加工精度；

　　2、冷却方式和条件；

　　3、驱动电压和驱动频率；

　　4、介电体资料；

　　5、原料气体中氧的含量及结净和干燥度。臭氧产值是指臭氧发生器单位时间内臭氧的产出量；臭氧浓度数值与进入臭氧发生器总气量数值的乘积即为臭氧产值；一般使用mg/h,g/h,kg/h这些单位表明。臭氧发生器标准中规则臭氧发生器规格型号使用臭氧产值表明和区别。小型臭氧发生器使用g/h为单位，大型臭氧发生器使用kg/h为单位区别规格的大小。

　　臭氧发生器设计要点：

　　1.使用高介电常数的资料制作电极，提高加工精度。

　　2.改进冷却条件，选用水冷或双极冷却。

　　3.降低气源露点，提高气源洁净度。

　　4.提高臭氧电源的驱动频率，降低电耗。

　　5.选用智能操控，并对运行工况再线监测。